半導體環境露點儀是一種專門用于半導體制造環境中測量氣體中水蒸氣含量（即露點溫度）的精密儀器。工作原理基于冷凝法，通過讓空氣或氣體在冷卻表面上凝結水蒸氣，從而確定空氣中水蒸氣的含量。具體來說，儀器內部有一個冷卻鏡面或傳感器，當被測氣體流過鏡面或傳感器時，其溫度逐漸降低，直到鏡面上出現露滴或傳感器感應到水分子的凝結。此時，儀器會測量并記錄下此時的溫度，即為露點溫度。這個溫度反映了氣體中的水蒸氣含量。
半導體環境露點儀的主要特點：
高精度：半導體制造對氣體的濕度要求高，因此半導體環境露點儀需要具有高精度的測量能力，以確保測量結果的準確性。
快速響應：半導體生產過程中需要實時監測氣體的濕度變化，因此露點儀需要具有較快的響應速度，以便及時捕捉到濕度的變化。
穩定性好：半導體環境露點儀需要具有良好的長期穩定性和重復性，以確保在長時間使用過程中保持測量結果的準確性和一致性。
抗干擾能力強：半導體制造環境中可能存在各種干擾因素，如顆粒雜質、油污或液體等，露點儀需要具有抗干擾能力，以確保測量結果的準確性。
