名稱

內容

測量

范圍

Z軸（垂直）

±80μm/±160 µm（增強型）

X軸（水平）

20mm

分辨率

Z軸

（垂直）

0．01μm/±20μm

0．02μm/±40μm

0．04μm/±80μm

0．08μm/±160μm

測量

項目

參數

Ra、Rz、Rq、Rt、Rp、Rv、R3z、R3y、RzJis、Ry、Rs、Rsm、

Rsk、Rmr、Rku、Rmax、Rc、Rpc、Rk、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2

標準

ISO,ANSI,DIN,JIS

圖形

支承率曲線，粗糙度輪廓，直接輪廓

濾波器

RC,PC-RC,Gauss,D-P

取樣長度(lr)

0.25,0.8,2.5mm

評定長度（ln）

Ln= lr×n    n=1~5

傳感器

測量原理

位移式差動電感

觸針

天然金剛石，90錐角，5μm針尖半徑

測力

<4mN

導頭

硬質合金，滑行方向半徑40mm

滑行速度

lr=0.25,   Vt=0.135mm/s

lr=0.8,    Vt=0. 5mm/s

lr=2. 5,    Vt=1mm/s

返回      Vt=1mm/s

示值誤差

不大于±10%

示值變動性

不大于6%

電源

內置鋰離子充電電池，用DC5V,800mA充電器充電

外形尺寸

主機：64*53*160mm 驅動器：23*27*115mm

重量（主機）

約380g

工作環境

溫度：- 20℃~40℃

濕度：<90% RH

儲存運輸環境

溫度：- 40℃~60℃

濕度：<90% RH